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【应用分享】半导体行业SEMI F47测试--如何轻松编辑电压瞬降波形?

作者:广东泰测电子有限公司 浏览: 发表时间:2022-08-09 17:35:38


相信大家都有所了解,半导体制造厂商对供电有着极高的要求,特别是对于电力供应品质要求更高的晶圆相关产业,一旦发生电压瞬降,不仅对敏感的微电脑自动控制设备造成不可预期的伤害,也会使制程中断,而产生极大的损失。为了能保护敏感的设备能够免于电压瞬降的危害,SEMI F47标准规定了半导体制程设备对电压瞬降的耐受等级,要求对通常发生在交流电网中的电压骤降具有“免疫力”。


Q:何谓SEMI F47电压瞬降测试?


电压瞬降通常是指负载端电压值降到额定电压值的90%以下,并持续0.5~60个周期,而SEMI F47是半导体制程设备电压暂降抗扰度规范。在SEMI F47-0706中,以50Hz为例,电压为50%标称值时为10周、电压为70%标称值时为25周、电压为80%标称值时为50周。一些晶圆厂会要求更高等级的耐受,相较F47-0200增加电压瞬降的耐受时间或强度,在电压为0%标称值时为1周,电压为80%标称值时为500周。

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艾德克斯始终致力于提供以功率电子为核心的***专业测试测量解决方案,全新一代交流电源产品系列IT7800系列大功率可编程电源、IT7900/IT7900P系列回馈式电网模拟器拥有强大的任意波形编辑功能,除了内置的IEC61000-4-11/4-13/4-14/4-28等法规波形外,还可以模拟谐波/间谐波及各种复杂的电网扰动波形,是测试和实验室的理想选择。


测试需求


SEMI F47法规测试

三相输出,其中一相1个周期50Hz(20ms)的瞬降(0V)


通常大家可能会想到用List功能来编辑此波形,这是可以的,然而对于非整数周期,像是60Hz16.7ms),计算每个单步的持续时间就相对复杂。此时我们可以考虑用突波/陷波功能来轻松实现。


IT7800/IT7900/IT7900P系列可编程交流电源提供突波/陷波的模拟功能,用户可以根据需求在输出的波形基础上加上突波/陷波来模拟电路系统中电压的异常波动,而且突波/陷波可以叠加在任意基础波形上,设置如下:



实测波形如下:

可以看到A相跌落到0,持续时间1个周期,每5个周期出现一次。








IT7800大功率可编程交流电源、IT7900/P回馈式电网模拟器在3U的有限空间里面,提供了高达15kVA的功率输出。单个机柜功率***可达165kVA,***多可扩展至960kVA。同时相电压输出达350V,具有AC/DC/AC+DC/DC+AC四种输出模式,单相,三相及反相等灵活输出能力。适用于新能源、轨道交通、半导体及科研院校等多个领域的研发、生产、质检阶段。


IT7900电网模拟器还具有孤岛保护测试功能,可用于并网逆变器、储能PCS测试;IT7900P除了可以作为电网模拟器和全四象限功率放大器使用,同时也是一台回馈式的交/直流电子负载。


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